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高纯氢气

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高纯氢气

详细介绍

高纯氢:无色无臭可燃气体,在空气中的可燃限4。0%~75。0%(V),自燃温度571。2℃,液体密度70。96kg/m3(-252。8℃,101。3kPa),沸点-252。8℃。熔点-259。2℃。

用途:主要用于大规模集成电路的制造,提供还原气氛,特种设备及精密设备。作为配制SiH4/H2、PH3/2、B2H6/H2等混合气的底气。

高纯氢气1.jpg

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